晶圓x射(she)線晶體定向(xiang)儀(yi)分揀(jian)系(xi)統(tong)Wafer XRD用于全自動分揀(jian)、晶體取向(xiang)、optical notch and flat determination測定等。Si | SiC | AlN | 藍(lan)寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
Ingot XRD - 晶(jing)錠(ding)(ding)X射線定向(xiang)儀有著先進的(de)XRD系統,用于單(dan)晶(jing)晶(jing)錠(ding)(ding)的(de)自動(dong)定向(xiang)、傾(qing)斜和(he)對準研磨。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和(he)其他100多種(zhong)材料。
Omega/Theta XRD- 定制的樣品(pin)架用于微小圓(yuan)柱體、大(da)型晶鑄(zhu)或(huo)立方體晶體定向的夾具
Omega/Theta XRD- 搖(yao)擺曲線(xian)測(ce)量意味著(zhu)在Theta-scan模(mo)式下進行測(ce)量,這需要一個(ge)測(ce)角儀。一個(ge)雙(shuang)晶(jing)體被(bei)帶(dai)入主光(guang)束路徑,以(yi)減少光(guang)譜寬(kuan)度(du)和發(fa)散度(du)。然而(er),其副(fu)作用是(shi)強烈的強度(du)降低。
Theta XRD晶(jing)(jing)錠(ding)粘接(jie)轉移技術(shu)(堆垛 stacking),晶(jing)(jing)體(如SiC的晶(jing)(jing)錠(ding))。這些(xie)需要在線切(qie)過(guo)程之前進行定向(xiang)對準。Freiberg儀器(qi)公(gong)司(si)提(ti)供了(le)一(yi)個方(fang)便(bian)的支(zhi)架系統,使用(yong)Omega-scan對準晶(jing)(jing)錠(ding)。整個堆垛被轉移到線鋸(ju)。平行的鋸(ju)切(qie)可極大(da)節省(sheng)時間,極大(da)提(ti)升生產(chan)效率,提(ti)高制造良率。
Omega/Theta XRD Mapping面(mian)(mian)掃(sao)功(gong)能(neng)掃(sao)臺允許使用受控(kong)的(de)(de)網(wang)格(ge)模式來(lai)探索整個樣(yang)品(pin)(pin)表(biao)面(mian)(mian)。Omega/Theta XRD可(ke)以很(hen)容易(yi)地在轉盤頂(ding)部容納額外(wai)的(de)(de)XY定位平(ping)臺。樣(yang)品(pin)(pin)表(biao)面(mian)(mian)可(ke)以根據(ju)用戶定義的(de)(de)網(wang)格(ge)進行掃(sao)描(miao)。由(you)于樣(yang)品(pin)(pin)上(shang)X射線光斑的(de)(de)大小,小的(de)(de)網(wang)格(ge)間(jian)距(ju)約為1毫米。
Omega/Theta XRD - X射線(xian)晶體定向儀用(yong)于超(chao)快速的(de)晶體定向、生(sheng)產中的(de)晶體排列、質量控制、搖擺曲(qu)線(xian)測(ce)量、材料研究等。SiC | Si| AlN | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
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