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MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測

  • 更新時間:  2024-03-04
  • 產品型號:  Freiberg--MDPinline
  • 簡單描述
  • MDPinline(MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測)是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內,就可以“動態"測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,有效提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。
詳(xiang)細介(jie)紹

?公司簡介

 --Freiberg Instruments成立于2005年,源自德國弗萊貝格工業大學。初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具,用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
 --2012年整合了Magnettech公司,該公司擁有25年ESR順磁產品經驗;2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
 --Freiberg Instruments是一家發展迅速,充滿活力,專業又具有創新的的分析儀器公司,產品廣泛應用于劑量學、醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。

 

?產品介紹 

MDPinline(MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測)是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器,在不到一秒的時間內,就可以“動態”測量出晶圓圖。該儀器可為每個晶圓片提供完整的拓撲結構,有效提高了生產線的成本效益和效率。且其實時質量檢測可以提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。 

?產品優勢

 --MDPinline(MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測)可以在不到一秒的(de)時間內,可對一個晶圓片進行全電特性測試。測量參數(shu):載流子壽(shou)命(拓撲(pu)圖)、電阻率(雙線掃(sao)描)。

 --在非常短的時間內獲(huo)得數以千計的晶圓片的統計信息可(ke)有效地幫助(zhu)晶圓廠控制(zhi)過程和生(sheng)產。

 --適用于測量晶圓(yuan)片(pian)的材料質量,以(yi)及識別晶圓(yuan)片(pian)層面的結晶問題,例(li)如在光(guang)伏行業。

 ;--適(shi)用于(yu)擴(kuo)散過程(cheng)的(de)完整性控制、鈍(dun)化效率和(he)均勻性控制。

 

 

 

 

Multicrystalline silicon wafers

 

?技術參數


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