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少子壽命測試儀µPCD/MDP (MDPpro 850+)用于(yu)(yu)單晶硅(gui)(gui)錠、硅(gui)(gui)磚和(he)硅(gui)(gui)晶圓片(pian)的生(sheng)產和(he)質量(liang)監控。用于(yu)(yu)HJT、HIT、TOPcon、雙面PERC、PERC+太陽能電池、鈣鈦礦等中的硅(gui)(gui)材料。

MDPmap單(dan)晶(jing)(jing)(jing)和多晶(jing)(jing)(jing)硅片壽命測(ce)量(liang)儀被設(she)計成一(yi)個緊湊的(de)臺式非接觸電學(xue)表征工具(ju)，用于離線生產控制(zhi)或研發，在穩態或短(duan)脈沖激勵（μ-PCD）下，在一(yi)個寬(kuan)的(de)注入范圍內測(ce)量(liang)參數，如載(zai)流子壽命、光導率、電阻率和缺陷信(xin)息(xi)。自動(dong)化(hua)的(de)樣品(pin)識別和參數設(she)置允許輕松(song)適應各種不同的(de)樣品(pin)，包(bao)括外延(yan)層和經過不同制(zhi)備階段的(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)，從(cong)原(yuan)生晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)到(dao)高達95%的(de)金屬(shu)化(hua)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)。

MDPlinescan在線少(shao)子(zi)壽(shou)命測(ce)試(shi)儀靈活(huo)的(de)OEM少(shao)子(zi)壽(shou)命測(ce)試(shi)儀器，用于各種不(bu)同樣品的(de)少(shao)子(zi)壽(shou)命測(ce)量，從單(dan)晶硅(gui)磚到多(duo)(duo)晶硅(gui)磚，從生長(chang)的(de)硅(gui)片到不(bu)同層(ceng)或金(jin)屬化的(de)硅(gui)片的(de)過程控制。標準的(de)軟件接口，便于連接到許多(duo)(duo)處理或自(zi)動化系(xi)統(tong)。

MDPspot少(shao)子壽命測(ce)試儀低成本桌面單點測(ce)量硅(gui)(gui)片或晶(jing)磚，用于在不同(tong)制備階段表征各種(zhong)不同(tong)的硅(gui)(gui)樣(yang)品(pin)，無需(xu)內置自動(dong)化(hua)。可(ke)(ke)選手動(dong)操作的z軸厚度高達(da)156毫米的硅(gui)(gui)磚樣(yang)品(pin)，高達(da)156毫米硅(gui)(gui)磚，結果可(ke)(ke)視化(hua)的標準軟件(jian)。

弗萊貝格的(de)(de)MDPpro（MDPpro晶(jing)(jing)圓(yuan)片/晶(jing)(jing)錠壽命(ming)檢(jian)測儀--少子壽命(ming)）系列主要用于(yu)測量少子壽命(ming)、光電導率、電阻率和樣(yang)品平(ping)整度及p/n檢(jian)查等，其非接觸式檢(jian)測和無(wu)損成像（μPCD /MDP（QSS））的(de)(de)設計*符(fu)合SEMI標準PV9-1110。這也使得該儀器在(zai)晶(jing)(jing)圓(yuan)切割(ge)、爐(lu)內監控和材(cai)料優化等領域被廣泛應(ying)用。可(ke)以說，MDPpro是晶(jing)(jing)錠生產商(shang)以及晶(jing)(jing)體(ti)爐(lu)技術生產商(shang)d的(de)(de)標準儀器。

MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢(jian)測(ce)(ce)儀(yi)--少子(zi)壽命測(ce)(ce)試(shi)）是一(yi)個緊湊的離線臺式檢(jian)測(ce)(ce)設(she)備，主(zhu)要被設(she)計(ji)用于(yu)生產控(kong)制或(huo)研發、測(ce)(ce)量少子(zi)壽命、光電導(dao)率(lv)、電阻(zu)率(lv)和缺陷信息等參(can)數。其工作(zuo)狀態為穩態或(huo)短脈沖激(ji)勵下（μ-PCD）。

德(de)國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在(zai)(zai)線晶圓(yuan)片/晶錠(ding)點掃或(huo)面掃檢測儀）是一款靈(ling)活的(de)OEM設備，可以用于(yu)(yu)多種(zhong)不同樣品(pin)的(de)在(zai)(zai)線壽(shou)命測量(liang)：從(cong)單(dan)晶到(dao)多晶硅錠(ding)，從(cong)生成態晶圓(yuan)片到(dao)不同鍍層或(huo)金(jin)屬化晶圓(yuan)的(de)過程控制。配置標準(zhun)軟件接口，易于(yu)(yu)連(lian)接到(dao)許多處理或(huo)自動化系(xi)統。

MDPinline（MDP高(gao)(gao)速晶(jing)(jing)圓(yuan)片(pian)在線面檢(jian)(jian)測(ce)(ce)儀(yi)--少子(zi)壽命檢(jian)(jian)測(ce)(ce)）是一(yi)種用于快速定量(liang)(liang)測(ce)(ce)量(liang)(liang)載(zai)流子(zi)壽命并集成(cheng)掃描功(gong)能的(de)(de)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)儀(yi)。通過工(gong)廠安裝的(de)(de)傳送帶將晶(jing)(jing)圓(yuan)片(pian)移至儀(yi)器(qi)，在不到(dao)一(yi)秒的(de)(de)時(shi)間(jian)內，就可以“動(dong)態”測(ce)(ce)量(liang)(liang)出晶(jing)(jing)圓(yuan)圖。該儀(yi)器(qi)可為每(mei)個晶(jing)(jing)圓(yuan)片(pian)提(ti)供完整的(de)(de)拓(tuo)撲結(jie)構，有效提(ti)高(gao)(gao)了生產線的(de)(de)成(cheng)本效益(yi)和(he)效率。且(qie)其實時(shi)質量(liang)(liang)檢(jian)(jian)測(ce)(ce)可以提(ti)高(gao)(gao)和(he)優化諸(zhu)如擴散和(he)鈍化等(deng)處理步(bu)驟。

德國弗萊貝(bei)格儀器的MDPinline ingot（MDP晶(jing)錠(ding)在線面掃檢測(ce)(ce)儀--進口少子壽(shou)命測(ce)(ce)試(shi)）系統是快速(su)多晶(jing)硅(gui)晶(jing)錠(ding)電(dian)學參數特性(xing)測(ce)(ce)量(liang)工具。它(ta)是專為高通(tong)量(liang)工廠的單塊晶(jing)錠(ding)測(ce)(ce)試(shi)而研發的。每塊晶(jing)錠(ding)可以在不(bu)到一(yi)分鐘時間(jian)里測(ce)(ce)量(liang)其四面。所有的圖譜（壽(shou)命，光電(dian)導率(lv)，電(dian)阻率(lv)）都可以同時進行(xing)測(ce)(ce)量(liang)。