?公司簡介

Freiberg Instruments成立于2005年，源自德國弗萊貝格工業大學。
初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具，用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
2012年整合了Magnettech公司，該公司擁有25年ESR順磁產品經驗；2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
Freiberg Instruments是一家發展迅速，充滿活力，專業又具有創新的的分析儀器公司，產品廣泛應用于劑量學、
醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。 

?產品介紹

德國弗萊貝格MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）是一(yi)款靈活的OEM設備，可以用(yong)于(yu)多種不同(tong)樣品的在線(xian)壽命測量：從(cong)單(dan)晶到多晶硅錠，從(cong)生成(cheng)態晶圓(yuan)片到不同(tong)鍍(du)層(ceng)或(huo)金屬(shu)化晶圓(yuan)的過程控(kong)制。

MDPinlinescan（MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀）配置標準軟(ruan)件接口，易于(yu)連(lian)接到許(xu)多處理或自(zi)動化(hua)系統(tong)。

 --各(ge)種不(bu)同的樣品(pin)，從(cong)單晶(jing)(jing)硅(gui)到多晶(jing)(jing)硅(gui)，從(cong)生(sheng)長(chang)的晶(jing)(jing)片到加工過的晶(jing)(jing)片，都(dou)可(ke)以通過MDPlinescan使用少子(zi)壽命測量進行檢測。

 --MDPlinescan是(shi)一個易于集成的(de)OEM單元(yuan)，可(ke)集成到各種自動化的(de)檢測線。關鍵的(de)測量參(can)數是(shi)實時的(de)載流子壽命掃(sao)描。

 --樣品通常由(you)測量頭下的傳送帶或機器(qi)人系統(tong)來輸(shu)送。應用實例從晶錠到晶圓(yuan)的檢測，每(mei)個晶圓(yuan)的測量速度小(xiao)于一秒。

 --該儀器有許多專門(men)應用可能性。由于(yu)其(qi)易于(yu)集成，只需要以(yi)太網連接和(he)電源即可。例(li)如，電池生產線(xian)上(shang)的(de)來料質量(liang)檢查是其常用的一種應(ying)用方向，同樣(yang)，鈍(dun)化和(he)擴散后的工藝質(zhi)量檢查也能用到此(ci)款產品。

                                   

                                                               

?特性

 --允許單片調查

 --配方(fang)的基礎測量

 --監控(kong)材料質量、工藝的(de)完整性和穩(wen)定(ding)性

?優勢

 --在(zai)µ-PCD或穩態激發條件下測量(liang)少數載(zai)流子壽命(ming)和電阻(zu)率是(shi)這個工具的重點。

 --用于集成(cheng)在生產線的多(duo)晶(jing)或單晶(jing)硅晶(jing)圓,包括(kuo)材料制備，和各種工藝(yi)處理階段。

 --小尺寸和(he)(he)標準的自動化接口(kou)使(shi)集成變得容易(yi)。優勢是長時間的可靠性和(he)(he)測量結果的高精度。

?技術參數