?公司簡介
--Freiberg Instruments成立于2005年,源自德國弗萊貝格工業大學。初致力于開發一系列快速、無損的電氣特性測試工具,用于測量少數載流子壽命、光電導率和電阻率等參數。
--2012年整合了Magnettech公司,該公司擁有25年ESR順磁產品經驗;2015年又整合了EFG的X射線衍射產品。
--Freiberg Instruments是一家發展迅速,充滿活力,專業又具有創新的的分析儀器公司,產品廣泛應用于劑量學、醫學研究、材料研究、電子自旋共振、微電子學、光伏、發光年代測定和x射線衍射等領域。
?產品介(jie)紹
--弗萊貝格的MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)系列主要用于測量少子壽命、光電導率、電阻率和樣品平整度及p/n檢查等,其非接觸式檢測和無損成像(μPCD /MDP(QSS))的設計*符合SEMI標準PV9-1110。
--這也使得該儀器在晶圓切割、爐內監控和材料優化以及常規質量控制、精密材料研發的單晶和多晶片及晶錠的壽命測量等領域被廣泛應用。可以說,MDPpro(MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命)算得(de)上是晶錠生產商以及晶體爐技術生產商d的標準儀器。
?特性&優勢:
--無(wu)接觸(chu)和無(wu)破壞(huai)的半導體(ti)檢測;
--特殊“underneath the surface”壽命(ming)測量技(ji)術;
--對(dui)不可(ke)見缺(que)陷的(de)可(ke)視化測試具有很高(gao)靈敏度;
--自動(dong)設置硅錠切割標準;
--空間分辨p/n電導型(xing)變(bian)換檢測;
--多項數據(ju)同時自動(dong)檢測掃(sao)描,5幅測量圖形同時繪制;
--堅固耐用的設(she)計和易于設(she)置的性能。安裝(zhuang),僅(jin)需要(yao)電源。
?應用實例
-1.日常壽命測量,質量控制和檢驗
--產量:>240塊/天或>720片(pian)/天
--測量速(su)度:對于156x156x400mm標準晶錠,<4分鐘
--良(liang)品率提升(sheng):1mm切割標準(zhun)為156x156x400mm標準(zhun)晶錠(ding)
--質量控(kong)制(zhi):用(yong)于過程和材料(liao)的質量監(jian)控(kong),如單晶(jing)硅或多(duo)晶(jing)硅
--沾污檢測(ce):起源于坩堝和生(sheng)產設備的金屬(Fe)
--可靠性:模塊化和堅(jian)固(gu)耐用的工(gong)業(ye)儀(yi)器,更高可靠性,運行(xing)時(shi)間> 99%
--可重復性:> 99.5%
--電(dian)阻率:可(ke)做(zuo)面掃(sao)描,不需經常校準
-2. 精密材料研發
--a.鐵濃度測定
--b.陷阱濃度測定
--c.硼氧測定
--d.依賴于注入的測量等
掃一掃 微信(xin)咨詢
©2024 束蘊儀器(上海)有限公司版權所有 備案號: 技術支持: 網站地圖 總訪(fang)問(wen)量(liang):100853