?產(chan)品介(jie)紹

 --MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試）是一個緊湊的(de)離線臺(tai)式檢(jian)測設備，主要被(bei)設計(ji)用于生產控制或研發、測量少子壽命、光電(dian)導(dao)率(lv)(lv)、電(dian)阻率(lv)(lv)和缺陷信息等參(can)數。其(qi)工作狀態為穩態或短脈(mo)沖激勵下（μ-PCD）。

 --MDPmap（MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試）自動化的樣品識別和參數設置可以使該儀器方便地適應各種不同的樣品，包括從生長的晶圓到高達95%的金屬化晶圓之間不同制備階段的各種外延片和晶圓片。

 --MDPmap主要優點(dian)是(shi)其高度的(de)靈活性，它允許(xu)集成多達4個激光器，用于從(cong)超低注入到高注入的(de)與注入水平相(xiang)關的(de)壽命(ming)測量，或者通(tong)過(guo)使用不同的(de)激光波長(chang)提取深度信息。

?設備特點

 --靈(ling)敏(min)度(du)：對外延工藝監控和不可見缺陷檢(jian)測，具有(you)可視(shi)化測試(shi)的較高分辨(bian)率
 --測量(liang)速度：6英寸硅晶圓片，1mm分(fen)(fen)辨率 ，小(xiao)于5分(fen)(fen)鐘(zhong)
 --壽命測試范圍: 20納秒到幾十毫秒
 --沾污檢測：源自坩堝和生長設備的金屬(Fe)污染(ran)
 --測量能力：從初始切(qie)割(ge)的晶圓片到所有(you)工藝加(jia)工的樣品
 --靈活性：允許外(wai)部激(ji)光(guang)通過觸發(fa)器，與探測模(mo)塊耦合
 --可靠(kao)性(xing)： 模塊化和緊湊臺式儀(yi)器，更高可靠(kao)性(xing)，正常運行(xing)時間> 99%
 --重現性(xing)： > 99.5%
 --電阻率(lv)：無需時(shi)常校準的電阻率(lv)面掃描

?設備參數